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碳硫儀準確分析光刻機中碳化硅陶瓷原材料碳硫含量
發(fā)布時間：2023-09-04 10:46:40 點擊：3186
碳硫儀這款專用于碳硫分析的儀器再次映入制造企業(yè)的眼簾。新能源的高速發(fā)展，光刻機的制造，碳化硅材料得到廣泛的應用，為有效檢測碳化硅含量，提供了檢測方法。
碳化硅陶瓷原料的檢測，針對碳化硅材料的碳元素檢測，推算碳化硅的成分占比。這對于半導體產(chǎn)業(yè)是非常重要的。
碳化硅陶瓷是光刻機用精密陶瓷部件的選用材料。碳化硅陶瓷具有高的彈性模量和比剛度，不易變形，并且具有較高的導熱系數(shù)和低的熱膨脹系數(shù)，熱穩(wěn)定性高，因此碳化硅陶瓷是一種優(yōu)良的結(jié)構材料，目前已經(jīng)廣泛應用于航空、航天、石油化工、機械制造、核工業(yè)、微電子工業(yè)等領域。
碳化硅材料的光刻機應用-碳硫儀檢測
但是，由于碳化硅是Si-C鍵很強的共價鍵化合物，具有極高的硬度和顯著的脆性，精密加工難度大；此外，碳化硅熔點高，難以實現(xiàn)致密、近凈尺寸燒結(jié)。因此，大尺寸、復雜異形中空結(jié)構的精密碳化硅結(jié)構件的制備難度較高，限制了碳化硅陶瓷在諸如集成電路這類的高端裝備制造領域中的廣泛應用。目前只有日本、美國等少數(shù)幾個發(fā)達國家的少數(shù)企業(yè)（如日本的Kyocera、美國的CoorsTek等）成功地將碳化硅陶瓷材料應用于集成電路制造關鍵裝備中，如光刻機用碳化硅工件臺、導軌、反射鏡、陶瓷吸盤、手臂等。
除此外，碳化硅材料也在磨料、耐火材料、冶金原料中得以廣泛應用，針對碳化硅材料的檢測，使用創(chuàng)想儀器紅外碳硫儀，可進行高效檢測，滿足廣大制造企業(yè)的檢測需求。
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